近期，上海漢虹精密機械有限公司再傳佳報，12英寸半導體單晶爐（FT-CZ3212B）開(kāi)始批量投入產(chǎn)線(xiàn)使用。該設備可穩定量產(chǎn)高品質(zhì)大直徑晶棒，也標志著(zhù)12英寸硅片大規模、產(chǎn)業(yè)化布局取得了關(guān)鍵成效，在最核心的拉晶環(huán)節取得了重大突破?？梢哉f(shuō)，這為國內半導體硅材料領(lǐng)域即將迎來(lái)一次質(zhì)的飛躍，12英寸硅片產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程跨上一個(gè)新的臺階。
上海漢虹半導體全自動(dòng)12英寸半導體單晶爐在均勻和缺陷密度等方面達到了新的高度，突破了國內晶體硅材料生長(cháng)設備、特別是大直徑晶體硅材料生長(cháng)設備長(cháng)期被國外大型企業(yè)壟斷的產(chǎn)業(yè)格局，各項數據和指標都達到了國際先進(jìn)水平，填補了國內半導體拉晶裝備的空白，為國產(chǎn)高品質(zhì)大直徑硅片的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化打下了良好的基礎。
上海漢虹堅持研發(fā)創(chuàng )新，并依托Ferrotec集團強大的半導體硅材料裝備領(lǐng)域的領(lǐng)先核心技術(shù)，在研發(fā)過(guò)程中，項目成員充分了解客戶(hù)生產(chǎn)需求，并保持高度的裝備設計敏感度，在采購、外協(xié)、品質(zhì)、制造等各個(gè)環(huán)節，經(jīng)過(guò)反復的實(shí)驗與完善，最終在公司各個(gè)團隊的精誠與密切合作下，進(jìn)一步確保設備運行的穩定性與可靠性。
據報道，相較于8英寸國產(chǎn)硅片的量產(chǎn)進(jìn)度，12英寸國產(chǎn)硅片遠未進(jìn)入產(chǎn)能釋放階段，與龐大的需求相比供應量遠遠不足。初步估計，到2020年我國大陸芯片制造能力有望達到全球的30%，屆時(shí)我國大陸12英寸硅片產(chǎn)能與芯片代工產(chǎn)能?chē)乐厥?。除了供需缺口之外，我?2英寸硅片產(chǎn)品的質(zhì)量也急待提升。這預示著(zhù)大直徑單晶爐量產(chǎn)的可行性和必要性。上海漢虹12英寸單晶爐，必將打破我國12英寸SOI襯底的生產(chǎn)能力不足的艱難局面，也將逐漸改變我國12英寸硅襯底嚴重依賴(lài)進(jìn)口的狀況。
半導體單晶硅片下游市場(chǎng)前景廣闊， 300mm硅片需求持續增長(cháng)。半導體芯片制造技術(shù)遵循摩爾定律，不同尺寸硅片市場(chǎng)的消長(cháng)和發(fā)展輪換，硅片整體沿大尺寸趨勢發(fā)展。單晶硅片直徑越大，所能刻制的集成電路越多，芯片的成本也就越低。硅圓片尺寸越大，效益越高。
上海漢虹本次12英寸半導體單晶爐批量投入產(chǎn)線(xiàn)，代表其技術(shù)、品質(zhì)水平都已達到世界先進(jìn)水平，受到市場(chǎng)的廣泛認可，與發(fā)達國家的先進(jìn)企業(yè)與設備可并駕齊驅?zhuān)⑻钛a了我國此領(lǐng)域技術(shù)空白。大大推動(dòng)國內半導體行業(yè)大規模發(fā)展進(jìn)程的同時(shí)，也為上海漢虹的發(fā)展注入了新的契機，對公司在半導體設備產(chǎn)業(yè)繼續向“高、精、尖”不斷攀升奠定了堅實(shí)的基礎。