據中欣晶圓發(fā)布，Ferrotec（中國）旗下安徽富樂(lè )德長(cháng)江半導體材料股份有限公司投資建設年產(chǎn) 240 萬(wàn)枚半導體晶圓再生項目，項目計劃總投資 10 億元，占地 75 畝，新建廠(chǎng)房 56774.38 平方米。
據悉，該項目購置國內外先進(jìn)設備數百臺套（關(guān)鍵工序采用進(jìn)口設備及專(zhuān)用設備），建設周期 15 個(gè)月，項目建成后將形成年產(chǎn) 240 萬(wàn)枚 300mm 半導體晶圓精密再生的生產(chǎn)線(xiàn)，可達世界先進(jìn)水平。
IT之家獲悉，官方介紹，安徽富樂(lè )德長(cháng)江半導體材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式會(huì )社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）在中國的全資子公司上海申和熱磁電子有限公司于 2019 年在銅陵發(fā)起創(chuàng )立。日本 FerroTec 株式會(huì )社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）于 1992 年正式進(jìn)軍中國市場(chǎng)。FerroTec（中國）現已成長(cháng)為集產(chǎn)品研發(fā)、制造、銷(xiāo)售于一體的多元化企業(yè)集團。旗下管理的 20 余家公司與制造基地遍布中國各地，為國內外客戶(hù)提供具有世界先進(jìn)水平的材料、器件、裝備和系統解決方案。
項目具有國內配備最完善的再生晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，也是國內首家專(zhuān)業(yè)從事 300mm 大尺寸硅片晶圓再生的專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)商，填補國內該領(lǐng)域空白。本項目的建設，將促使國內晶圓廠(chǎng)擺脫長(cháng)期主要依賴(lài)進(jìn)口的窘境，使其在國內即可實(shí)現高水平的大尺寸晶圓再生。
采用國際一流的 300mm 晶圓用全自動(dòng)精密 CMP 研磨機，研磨加工實(shí)現全程自動(dòng)化，厚度損失少；設備內部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)過(guò)濾裝置，保持高潔凈度；另外量測設備采用美國 KLA-Tencor SP5 顆粒檢測儀 , 具有 DUV 靈敏度和高吞吐量的無(wú)圖案晶圓表面檢測系統，加工與量測設備均處于國際行業(yè)領(lǐng)先水平。
項目建設過(guò)程中，依托 FerroTec（中國）成熟的半導體晶圓技術(shù)人才團隊為基礎，外籍專(zhuān)家團隊直接參與設備采購、安裝與調試，國內外知名廠(chǎng)商參與設備搬運與二次配工程，每一環(huán)節均有高品質(zhì)掌控。
轉自：IT之家