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単結晶爐
単結晶爐

Ferrotec（中國）単結晶爐

不活性ガスの雰囲気中で、石英ルツボ內に多結晶シリコンをチャージした狀態(tài)を、獨自設計のホットゾーンを用い、真空高溫下で溶融します。製造方式はCZを採用し、全ての工程は自動(dòng)制御で実施可能により、品質(zhì)の安定性、人材の低減及び人的ミスを減らす事から可能です。また、集中管理システムを採用する事に依り、自動(dòng)的に管理データの収集、分析を実現します。
単結晶爐分類(lèi)
Ferrotec（中國）自主開(kāi)発した単結晶引上裝置、特に半導體用途の裝置は門(mén)型構造を採用する事に依り、剛性を高めた事に依り、運転時(shí)の裝置安定性が極めて高いです。駆動(dòng)系は電動(dòng)/エアー方式を採用、コラムの駆動(dòng)に関しては軸受にオイルレス機構を採用している事から、汚染を抑える事が可能です。また、超電導マグネットを搭載する事に依り、8/12インチ結晶の品質(zhì)を効率良く高める事が可能です。シリーズには異なるモデルがあり、必要用途に合わせた選択を可能としています。
ソーラー結晶用途単結晶爐FT-CZ1200Pv
ソーラー結晶用途単結晶爐FT-CZ1200Pv
シリコン構造材用途単結晶爐FT-CZ1400Si
シリコン構造材用途単結晶爐FT-CZ1400Si
半導體用途単結晶爐FT-CZ1200Se/1400Se
半導體用途単結晶爐FT-CZ1200Se/1400Se
人間的デザイン
人間的デザイン
管理、操作およびメンテナンスの利便性
管理、操作およびメンテナンスの利便性
全自動(dòng)、安全性、均一性
全自動(dòng)、安全性、均一性
安定、清潔
安定、清潔
Ferrotec単結晶爐利點(diǎn)

安定、清潔,全自動(dòng)、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設計；溶接技術(shù)は日本のJIS規格を採用し、チャンバーを二重構造の水冷式設計を行って降り、圧力変化等の異常時(shí)に於いても、リリーフ弁、及び裝置構造により安全を確保します。各裝置には、集中管理システム用の接続コネクターを裝備している事から採用する事に依り集中監視/管理を行う事が出來(lái)ます。

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単結晶爐パラメータ
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連絡(luò )先番號： 021-36160062
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Matrix diagram of applications in various fields
領(lǐng)域別の適用のマトリクス図
製品の生産拠點(diǎn)
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