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フェローシール
磁性流體による真空シール伝動(dòng)裝置
フェローテック- シール分野の先駆者
フェローシールはシャフトの回転を真空內に伝達する製品です。リークや汚染がない為、クリーンな環(huán)境を求められる真空裝置に使用されています。いまや動(dòng)作伝達裝置に、フェローシールは幅広く応用されています。シリコン結晶、エレクトロニックポジションインジケーター、スパッタリング、プラズマエッチング、CVD、液晶再生などのプロセスにおいて、フェローシールを使用することで、裝置の無(wú)駄停止時(shí)間削減に貢獻しています。
磁性流體による真空シール伝動(dòng)裝置
半導體分野から航空分野まで、フェローシールは厳しい環(huán)境下でも高密封性を持つt保つことでを世界中に認められています。當社は多品種の真空シール、真空ロータリーシール、シールユニット及び真空環(huán)境下での動(dòng)力伝達の解決策をご提供しています。
マルチシャフトフェローシール
マルチシャフトフェローシール
マルチシャフトフェローシールは、半導體プロセスにおけるロボットに幅広く応用されています。更には10-8Torrの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。
フェロードライブ
フェロードライブ
フェローテック製フェロードライブは、フェローシール、精密モータとコントローラで構成されるモーター一體型シールです。モーター一體型により、お客様での取り付けや調整の作業(yè)の工數を削減できます。フェロードライブは、MOCVD、薄膜、光學(xué)コーティング、イオンビーム蒸著(zhù)、イオンビームエッチング、PVD、スパッタリング、イオン注入等に応用されることが多いです。モータ特にサーボモータが必要なプロセスによく応用されています。
ホローシャフトフェローシール
ホローシャフトフェローシール
ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構であり既存のシャフトに挿入することができます?；剀灔伐悭榨趣去`トリッジのスリーブシャフトとはOリングによってシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。典型的なホローシャフトフェローシールの応用例としてはスパッタリングで、この他エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、ロータリーターゲット、そしてX線(xiàn)や光學(xué)系裝置があります。ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプを揃えております。
ソリッドシャフトフェローシール
ソリッドシャフトフェローシール
ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付きタイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じた機種を揃えております。シャフトの動(dòng)力接続端部とプロセス端部の形狀は小徑の物を除き、キー溝機構を標準品として揃えており、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付などの設計も可能です。當社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除き、高溫?高荷重あるいは、高速回転使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。
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磁性流體による真空シール伝動(dòng)裝置マニュアル
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連絡(luò )先番號： 0571-86699985
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フェローシールの特性
ハーメティック
シーリング
フェローシールは、シャフトのステージ上に『磁性流體』で液狀のOリングを形成しております。これによりガス?蒸気?霧?微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(當社Heリークディテクタにて1*10-11torre/sec以下 )でテストしても検出されません。
ロングライフ
「流體Oリング」は、不活性で安定した磁性流體により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。
高信頼性
フェローシールは、シンプルな磁気回路と安定した磁性流體で構成されています。ベアリングだけが機械摩損されるので、ベアリングの壽命がシールの壽命といわれます。
汚染無(wú)し
フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10-8torrの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。
最適トルク伝達
シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100％のトルク伝達とバックラッシュのない同相動(dòng)力伝達が行えます。
低ダンパーと高速
回転能力
フェローシールは、非接觸型シールであり、また、磁性流體の粘性抵抗は低く、動(dòng)作は非常になめらかです。そのため、高速回転時(shí)においても安定した能力を発揮します。
カスタマイズフェローシール
真空シールはさまざまな製品設計における技術(shù)課題へのソリューションを提供します。フェローテック（中國）はお客様のニーズを中心に、設計、製造能力を活かしてお客様の製造環(huán)境に最適なシールをご供給しています。
Matrix diagram of applications in various fields
領(lǐng)域別の適用のマトリクス図
真空技術(shù)関係
フェローシール

シリコン結晶；

MOCVD；

薄膜産業(yè)；

イオンビーム蒸著(zhù)；

イオンビームエッチング；

物理気相成長(cháng)；

イオンスパッタリング；

イオン注入；

液晶再生過(guò)程；

イオン置換技術(shù)；

真空蒸著(zhù)裝置；

シリコン結晶；

MOCVD；

薄膜産業(yè)；

イオンビーム蒸著(zhù)；

イオンビームエッチング；

物理気相

プリフォーム用気相成長(cháng)裝置；

真空焼結；

イバーの引上げ裝置；

新エネルギーバッテリーの製造裝置；

CT；

MRI磁気共鳴畫(huà)像；

その他；
製品の生産拠點(diǎn)
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