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新材料技術(shù)
新材料技術(shù)
Ferrotec(中國)基于新材料技術(shù),專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導體用新材料。
技術(shù)發(fā)展路線(xiàn) 精密陶瓷 精密硅制品 精密石英
Ferrotec(中國)在精密硅制品領(lǐng)域擁有先進(jìn)的加工設備和一批高素質(zhì)的專(zhuān)業(yè)人員。

我們加工出來(lái)的硅部件產(chǎn)品和硅舟產(chǎn)品廣泛應用于半導體晶圓制造領(lǐng)域,硅舟主要應用于氧化、退火、CVD等工藝;硅聚焦環(huán)和分流盤(pán)主要應用于等離子體刻蝕機,贏(yíng)得了國內外半導體廠(chǎng)商的廣泛認可。


我們擁有多臺高精密檢測設備——如:三坐標測量?jì)x、影像儀、粗糙度儀、電阻率測試儀、LPC等多種檢測設備。同時(shí)擁有50臺以上各類(lèi)高精度高性能加工機床——如:數控加工中心,數控車(chē)床,平面研削機,多線(xiàn)切割機,鋸切割機,套筒切割機,無(wú)心研削機等高精度標準機床;同時(shí)擁有自主開(kāi)發(fā)的半導體級別的高純洗凈線(xiàn),能夠滿(mǎn)足先進(jìn)工藝的要求。


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